很多工业生产中都会副产。在多晶硅的生产过程中不仅会产生，还会产生其他多种有害气体。

    多晶硅生产过程中会产生氯气、氢气、三氯氢硅、等有害物质，主要危险特性有：
     1)氢气：与空气混合能形成爆炸性混合物，遇热或明火即会发生爆炸。气体比空气轻，在室内使用和储存时，漏气上升滞留屋顶不易排出，遇火星会引起爆炸。氢气与氟、氯、溴等卤素会剧烈反应。（）
     2)氧气：助燃物、可燃物燃烧爆炸的基本要素之一，能氧化大多数活性物质。与易燃物(如乙炔、甲烷等)形成有爆炸性的混合物。
     3)氯：有刺激性气味，能与许多化学品发生爆炸或生成爆炸性物质。几乎对金属和非金属都起腐蚀作用。属高毒类。是一种强烈的刺激性气体。
     4) ：无水无腐蚀性，但遇水时有强腐蚀性。能与一些活性金属粉末发生反应，放出氢气。遇能产生剧毒的氰化。
     5)三氯氢硅：遇明火强烈燃烧。受高热分解产生有毒的氯化物气体。与氧化剂发生反应，有燃烧危险。极易挥发，在空气中发烟，遇水或水蒸气能产生热和有毒的腐蚀性烟雾。燃烧(分解)产物：、氧化硅。
     6)四氯化硅：受热或遇水分解放热，放出有毒的腐蚀性烟气。
     7)：腐蚀性。遇H发泡剂立即燃烧。能与普通金属发生反应，放出氢气而与空气形成爆炸性混合物。
     8)硝酸：具有强氧化性。与易燃物(如苯)和有机物(如糖、纤维素等)接触会发生剧烈反应，甚至引起燃烧。与碱金属能发生剧烈反应。具有强腐蚀性。
     9)氮气：若遇高热，容器内压增大。有开裂和爆炸的危险。
    10)：腐蚀性。若遇高热，容器内压增大，有开裂和爆炸的危险。

    副产物等有害物质在工业生产中的危害需引起相关部门的注意，这是保证安全生产的重要前提。