改良西门子法是用氯和氢合成（或外购），和产业硅粉在一定的温度下合成三氯氢硅，然后对三氯氢硅进行分离精馏提纯，提纯后的三氯氢硅在氢还原炉内进行CVD反应生产高纯多晶硅。

    国内外现有的多晶硅厂尽大部分采用此法生产电子级与太阳能级多晶硅。