本实用新型提供一种气体干燥装置，其包括塔体，塔体顶部设有出口，底部设有氯硅烷液体出口，塔体上还设有进口、氯硅烷液体入口、以及冷媒入口和冷媒出口，进口处装设有管道，所述管道在塔体内向下延伸，冷媒入口和冷媒出口设于塔体下部，冷媒入口和冷媒出口之间通过内盘管连通。本实用新型含水经进口与氯硅烷液体入口喷入的氯硅烷充分接触，使水分反应生成。该装置结构简单、成本低、便于生产实施，且能够达到脱水深度要求，将氯硅烷分离可得到纯净的。